「私たちはお客様と協力して、4世代に渡るテクノロジーの開発に取り組んでいます。」 土井伸人のこの発言、東京エレクトロン副社長の発言はかなりの決意表明だ。 フォトリソグラフィー装置業界について話すとき、オランダの会社 ASMLが主役に。 そして、現在、極端紫外線 (UVE) リソグラフィー マシンとその最新かつ最先端の反復である UVE 装置ワイド アパーチャを開発した唯一の人物であることを念頭に置くなら、彼はその評価を受けるに値します。

しかし、リソグラフィ装置市場では日本企業数社も大きな影響力を持っている。 ニコンとキヤノンもそのうちの2社だが（後者はすでにナノインプリント露光装置のレビュー準備を進めている）、その先頭に立っているのが東京エレクトロンだ。 実際に、キルヤット・ガット（イスラエル）とペナン（マレーシア）にあるインテルの半導体工場を訪問する機会がありましたが、そこではASMLチームと東京エレクトロンチームが連携して働いています。

東京エレクトロンはプラズマおよびウエハ成膜装置のリーダーです

日本政府は日本を半導体業界の主要国と対決させる決意をしている。 そしてそれは決して実現不可能な野心ではありません。 実際、東京エレクトロンは彼の計画に欠かせない存在だ。 現在 日本はもっと資金を投資する 集積回路分野では、米国、ドイツ、フランス、英国よりも優れています。 純資産の観点からではありませんが、これらの国の投資を国内総生産（GDP）との関係で重み付けすると、彼らの努力はさらに大きくなります。

米国はGDPの0.21％を半導体産業に費やし、ドイツは0.41％を支出している。 フランスによると、 日経アジア、0.2％、そして最後にイギリス0.04％。 この差は非常に大きく、日本がGDPの0.71％を使って取り組んでいることが浮き彫りになります。 東京エレクトロンは、日本政府が承認した補助金によって支援されている日本企業のひとつです。 実際、宮城県では2025年の完成を目指して複数のビルが建設中である。

これらの施設で実施される最も野心的なプロジェクトは、高度なプラズマ ウェーハ エッチング装置の設計と製造です。 これらは正確には、 土井信人が語る機械 彼の声明の中で。 これらのチームは、プレートに転写されるパターンの定義に参加します。 日本の企業である日立もプラズマウェーハエッチング装置を持っていますが、この特定の市場におけるリーダーは東京エレクトロンです。

どうやら、後者の会社のエンジニアは顧客と緊密に連携して、4 世代先を見据えたソリューションを開発しているようです。 しかし、そのプロジェクトは宮城県の施設にとどまりません。 東京エレクトロンはまた、岩手県奥州市に新工場の建設を進めており、この工場は高度なウェーハ成膜装置の製造と物流に使用される予定である。 私たちが確信できることの 1 つは、東京エレクトロンは日本の ASML であるということです。 それがなければ、日本政府が半導体産業のために策定した野心的な計画は実現できません。

写真 | 東京エレクトロン

詳細情報 | 日経アジア

ザタカで | 米国と日本は中国に対抗するために協力します：彼らはこれらの必須技術における中国の絶対的な支配を終わらせたいと考えています